PCE-6 小型等离子清洗机 - 扣电研究 - 新能源 - 行业方案

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

功能特点

拥有6英寸清洗腔室，可清洗约5英寸直径的基片
通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间
时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上
设有一个三通阀，可大体控制进气流量

技术参数
主要参数	● 输出功率：7.2W、10.2W、29.6W ● 总功率：<600W ● 射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节 ● 电源：AC220V 50Hz ●
等离子腔体	● 高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm 的观察窗 ● 带观察窗的铰链式门，便于样品加载和观察 ●
控制面板	● 控制功能：清洁时间，射频功率，真空泵。 ●
真空泵（标配）	● 真空泵：24L/min，直连式双旋真空泵 ●
等离子清洗机及刻蚀的方法
惰性气体	● 通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定） ● 等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体
可选配件	● 如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案，PCE-6等离子清洗机可以与2路混气系统组合 ● 您可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基片 ●
外形尺寸	400mm×300mm×300mm
净重	10.2kg
认证	CE认证
质保期	● 一年保修，终身技术支持。 ● 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。